TF1400CVD系统

型号

TF1400-25-14

TF1400-40-14

TF1400-60-14

TF1400-80-14

TF1400-100-14

TF1400-120-14

炉管尺寸

Φ25 x 900mm

Φ40 x 900mm

Φ60 x 900mm

Φ80 x 900mm

Φ100 x 900mm

Φ120 x 900mm

额定温度

1400

工作温度

1300

加热区尺寸

300mm

电源电压

220V/2KW

220V/2KW

220V/3KW

220V/4KW

220V/5KW

220V/8KW

加热元件

U型硅碳棒

炉膛材料

湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料

炉管材料

刚玉管

控温精度

±1℃

测温元件

S型铂铑热电偶

温控仪表

智能微电脑PID温控仪表，SCR/SSR控制，PID参数自整定功能；可编程序30个时段，程序升温、程序保温、程序降温

升温速度

1-20℃/min自由调节

炉体结构

炉膛温控一体式结构，炉膛开合式；双层外壳，空气循环隔热

密封性能

炉管两端装有不锈钢金属法兰，配套高温 PTFE 垫圈，可在真空下进行工作， 密封真空度≤0.0001pa

气氛性能

法兰两端有进气口和出气口，压力表装在金属法兰上，精密针型阀可调节进气和出气量，可通入氮气、氩气、氢气等保护气体

真空系统

配套独立的真空系统，系统内配有1台双极旋片式真空泵和数字真空计，包括不锈钢波纹管和挡板阀等组件，系统真空度≤5pa，还可以选择分子泵机组

气路系统

配套独立的气路系统，系统有三路浮子流量计组成，有混气室，可单进单出也可三路气体混气后进入管式炉系统，浮子流量计量程：60-600ml/min；也可选择自动质量流量计系统，控制精度±1.5%FS，重复精度±0.2%FS，量程：一路0-100SCCM，二路0-200SCCM，三路0-500SCCM

设备保护

模块化控制，对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号，并自动完成保护动作

人员保护

在设备上装有空开断路器，如发生短路漏电情况时会自动弹开，能保护设备和操作人员

外壳

优质冷轧钢板数控机床下料加工，经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉

质量认证

ISO9001   CE    SGS   TUV

标准配置

1、炉体一台  2、温度控制器一台   3、电源线3米   4、热电偶一支  5、说明书一份6、炉钩一把  7、高温手套一双    8、管堵二个   9、密封法兰一套